半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、---、---规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18mω.cm、15mω.cm、10mω.cm、2mω.cm、0.5mω.cm,以区分不同水质。应用行业
纯水、超纯水设备常用于电子、半导体、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路 、精密机械行业超纯水,食品、饮料、饮用水的制备,精细化工、精尖学科用水,其他行业所需的高纯水制备,制药工业工艺用水,海水、苦咸水的淡化,制药行业用水大输液、生化制品、设备清洗等,海水、苦咸水淡化,汽车、家电涂装、镀膜玻璃、化装品、精细化学品等用超纯水。
工艺流程
2.制备电子工业超纯水的工艺流程
电子工业制备超纯水的工艺大致分成以下3种:
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水***多介质过滤器***活性炭过滤器***精密过滤器***中间水箱***阳床***阴床***混床(复床)***超纯水箱***超纯水泵***后置保安过滤器***用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水***多介质过滤器***活性炭过滤器***精密过滤器***中间水箱***反渗透设备***混床(复床)***超纯水箱***超纯水泵***后置保安过滤器***用水点
3、采用反渗透设备与电去离子(edi)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种,经济,发展潜力---的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水***多介质过滤器***活性炭过滤器***精密过滤器***中间水箱***反渗透设备***电去离子(edi)***超纯水箱***超纯水泵***后置保安过滤器***用水点
电子工业超纯水设备特点
电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、ro反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、ro纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用plc可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用和客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的---和设备---性。
锅炉水处理通常使用软水器,即钠离子交换器,仅能去除原水中的硬度成份(ca2+,mg2+),而不能除去碱度成份(hco3-等)。因此,经过软水器处理的水仍然含有碱度。含碱度过高的软化水进入锅炉内,在高温高压作用下,其中的重碳酸盐被浓缩并发生分解和水解反应,致使锅炉水中的苛性碱(naoh)浓度---增加,其反应如下:na2co3***naoh+co2
nahco3***naoh+co2
这种情况不仅造成锅炉水系统的碱腐蚀,蒸汽品质恶化,排污量增大,而且引起蒸汽和冷凝水系统的酸腐蚀。从而危及锅炉的安全运行,加大锅炉的运行成本,缩短锅炉与管道的使用寿命。所以,通常原水碱度高于2mmol/l时,需进行脱碱软化水质处理。
脱碱软化工艺与原理
自动脱碱软化水处理系统是本公司针对我国广大的高碱度地区锅炉用户而设计的新一代水处理系统。该系统采用氢—钠串联的脱碱软化原理,其工艺流程如下:
氢罐中选用了弱酸性氢型阳离子交换树脂用以去除进水中的碳酸盐硬度和脱去碱度,将碱度转化成---。
即:2rcooh+ca(hco3)2***(rcooh)2ca+2h2o+co2
2rcooh+mg(hco3)2***(rcooh)2mg+2h2o+co2
反应生成的---经脱气塔排掉,其出水再经钠罐中的强酸性钠型阳离子交换树脂除去非碳酸盐硬度。
即:2rna+caso4***r2ca+na2so4
2rna+mgso4***r2mg+na2so4
全自动脱碱软化设备产品特点
(一)自动脱碱软化水处理器对锅炉补水有极强的针对性。该系统氢罐选用弱酸性氢阳离子树脂,该树脂交换容量大,制水周期长,在脱碱的同时已将很大部分硬度(约30-50%)去除,因此,---减轻了钠罐的负荷,整个氢钠串联系统就如同一个双极软化系统,---地适应了高碱、高硬地区锅炉水处理的要求。---是合理,经济的设计。
(二)自动脱碱软化水处理器实践了“不足量酸再生”理论。该系统氢罐采用集控阀进行控制,真正,稳定地实践了“不足量酸再生”。从而在不配置ph值调节设备的前提下,pp模块雨水,---不会有酸性水流入钠罐,并且可以按照锅炉补水的要求,在氢罐出水中稳定保持一定量的碱度。
(三)自动脱碱软化水处理器的---设备——氢罐和钠罐均采用进口集控阀实现自控再生。尤以氢罐采用意大利信亚公司生产的双活塞液动耐酸型集控阀为---特点,使系统---的设计与复杂的控制得以---地实现。
(四)自动脱碱软化水处理器可选择单罐或双罐运行方式,时间或流量控制方式,从而适应不同用户的要求,---地实现运行成本低,水质---好的优点。
(五)自动脱碱软化水处理器结构简单,安装方便,集控性强,操作简单易懂,无须基础,只需短时培训即可上岗操作。
反渗透水处理设备(膜分离)技术的应用使反渗透超纯水设备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。 近年来开始在国外推广应用的edi(电去离子)技术,则是超纯水制造技术的一次---,从此进入了一个无需再生化学品,而能生产出---18mω·cm的超纯水,用于半导体、集成电路等行业。
反渗透超纯水设备是采用---ro技术设计,关键部件、设备采用进口产品,工艺---,---,可扩展性强,结构合理占地小,水利用率高,能耗低,全自动化运行,操作维护简单。一般产水下限0.25m3/hr,上限不限,水回收率一般可达75%以上,脱盐率>98%。产水量随进水温度下降和反渗透膜老化或受污染有一定变化。
反渗透超纯水设备典型工艺流程为:
1、 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点
2、 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
3、 预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-edi装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
4、 预处理***紫外线杀菌装置***一级ro装置***二级ro装置***中间水箱***edi装置***脱氧装置***氮封纯水箱***除toc uv装置***抛光混床***超滤装置***用水点
水质符合美国astm标准,电子部超纯水水质标准(8mω*cm,15mω*cm,2mω*cm和0.5mω*cm四级)
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